半導体ウエハ搬送ソリューション

半導体ウエハ搬送は半導体製造業に適用する。ハイレベルな安定性と精密度が要求されている。プロセスによってカスタマイズ可能。

半導体産業ウエハ搬送に向けて開発したEFEMウエハ搬送自動化モジュール、半導体プロセスのウエハ投入/抽出作業に使う：
1. ハイレベルな無塵クラスが備えて、高安定性及び高精密度など…の特性がある。
2. 様々タイプのAOIウエハ検査設備の搬送作業。
3. OEM/ODM、カスタマイズ化可能、ニーズに合わせた設計

4 Port EFEMウエハ搬送システム(表)

4 Port EFEMウエハ搬送システム(裏)

4 Port EFEMウエハ搬送システム(中身)

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  2 Port EFEMウエハ搬送システム
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  17 Port EFEMウエハ搬送システム